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In-Sight® 비전시스템과 PatMax기술을 이용한 웨이퍼 노치 검출
반도체 웨이퍼의 위치와 방향을 파악하는 것은 웨이퍼 제조 공정에서 매우 중요합니다. 이 작업은 웨이퍼의 노치를 모니터링해 각 단계에서 웨이퍼의 방향을 파악하는 방식으로 이루어집니다. 웨이퍼의 비용이 $5,000 ~ $100,000 이상인 것을 고려했을 때, 제조 공정 중 잘못된 얼라인먼트가 발생하면 복구할 수 없는 심각한 결함으로 이어지고 이 경우 웨이퍼를 폐기해야 합니다. 노치를 찾기 위해 기존에는 투과 빔 어레이 레이저 광학 센서를 이용했는데, 웨이퍼의 위/아래에 부피가 큰 송/수신기를 배치해야 합니다. 이는 상당한 공간을 차지하게 되며, 노치를 찾을 때까지 웨이퍼가 회전하는 동안 추가 시간을 필요로 합니다. 투명 웨이퍼(SiC) 및 기타 고유의 웨이퍼 코팅 도입으로 인해 투과 빔 센서가 노치를 정확..
